近日，由我校等單位共同主辦的第五屆微制造、微機電系統和物聯網國際研討會在西安金花豪生國際大酒店舉辦，會議在線上進行同步直播。有“日本微機電系統之父”之稱的日本立命館大學杉山進教授、日本早稻田大學水野俊教授出席本次研討會，我校機電工程學院李晨副教授、3名碩士研究生分別作了線下報告及英文會議報告，機電學院百余名研究生線上參加了本次研討會。
本次研討會由西安交通大學、陜西科技大學、微納米制造與測試技術國際合作聯合實驗室主辦。研討會開幕式由西安交通大學前田龍太郎教授主持。他代表研討會主辦方對參會的各位專家學者和各界朋友表示熱烈歡迎，對陜西科技大學、西安交通大學微機電系統研究團隊的支持表示感謝，希望通過本次會議帶來最新的微機電系統學術發展前沿，促進兩校的交流與合作。
會議邀請了國際和國內著名專家學者作大會主題報告。杉山進作了《基于壓阻效應的機械傳感器研究路線》的線上報告，介紹了日本MEMS傳感器的40年發展歷史與前沿技術。水野俊作了《薄Pt中間層低溫Cu-Cu鍵合技術》的線上報告，介紹了通過細化中間層薄Pt實現了Cu-Cu直接鍵合技術。西安交通大學機械工程學院方續東副教授作了《第三代半導體SiC材料在MEMS傳感器的應用》的線下報告，介紹了基于SiC材料的MEMS傳感器設計與制造工藝的最新進展。我校機電學院李晨副教授作了《飛秒激光在固體表面誘導周期性微納結構的形成機理及應用進展》的線下報告，介紹了飛秒激光加工機理及其在生物醫療、微流控領域的研究進展。
會議還邀請了西安交通大學、陜西科技大學6名研究生作英文會議報告。我校機電學院2018級碩士研究生徐士浩、楊研偉、馮宇航分別做了微機電系統方向的英文學術報告。會場上，兩所高校的研究生們對感興趣的研究課題進行了深入的交流和積極的探討。此次會議的舉辦，進一步促進了學校的國際科技交流與合作，對我校微機電系統方向綜合水平的提升起到了重要的推動作用。
（核稿：夏祥林 編輯：劉倩）
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